國內唯一有能力研發、生產、銷售亞微米至90nm光刻設備的芯碩半導體有限公司落戶天津開發區,將進行激光成像設備的批量生產以及相關產品、技術研發。未來幾年里,泰達將建起世界級的集成電路裝備工程技術中心。
芯碩半導體成立于2006年,由美國硅谷留學生博士團隊創辦,投資額8000萬美元。芯碩是國內唯一有能力研發、生產、銷售亞微米至90nm光刻設備的廠家。其研發投產的高分辨率光刻機沖破了西方國家的技術壟斷,改變了中國此類產品100%依靠進口的現狀,目前,該產品在國內市場占有率達到50%。由其組建的天津芯碩精密機械有限公司將主要從事LDI6800的批量生產、市場開拓和IC載板用的LDI研發。計劃在未來五年的時間里,穩固國內市場的同時,搶占國際市場份額,建立世界級的集成電路裝備工程技術中心。芯碩精密機械的落戶標志著開發區IC產業的全面升級,將進一步提高開發區在相關產業的影響力。