中化新網訊 5月27日，由北京化工大學等單位共同完成的超純凈電子化學品高效、綠色制造技術項目，在北京通過了由中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會組織的成果鑒定。由中國科學院院士、清華大學教授費維揚，中國化工學會教授級高工王玉慶等7位專家組成的鑒定委員會一致認為，項目團隊發(fā)明了超純凈電子化學品高效提純系列技術與裝備，實現(xiàn)了裝備的自主生產和成功應用，其核心技術處于國際領先水平。

根據(jù)鑒定意見，項目組發(fā)明了新型結構高效分離填料，分離效率優(yōu)于國際同類先進水平，制備的超純凈芯片用電子化學品產品指標達到或優(yōu)于國際同類產品；發(fā)明了適用于高效脫除金雜和固體顆粒物的高效絲網除霧器，壓降低、除霧效率高；發(fā)明了精餾與結晶等有機結合的協(xié)同高效提純新工藝，顯著提高了產品純度、降低了能耗與成本。

同時，上述系列技術均具有完全自主知識產權，并已獲得廣泛的工業(yè)化應用，成功用于生產新一代硅基材料、系列化濕電子化學品、電子特氣等，近3年來取得了顯著的經濟效益和社會效益。其中，所產純度達99.9999%的乙硅烷，質量和能耗優(yōu)于國際先進水平，產品已穩(wěn)定供應芯片公司；所產電子級鹽酸等系列濕電子化學品，金屬雜質鈣、鎂、鐵含量小于5ppt，質量優(yōu)于國際同類產品；所產電子特氣、芯片稀土元素等，也均實現(xiàn)質量和能耗先進。

鑒定會上，專家組對項目成果的自主知識產權和優(yōu)異的工業(yè)化應用成績尤為肯定。王玉慶稱贊該成果“是一個思路上的創(chuàng)新”。他表示，目前在經典分離領域的創(chuàng)新越來越難，項目成果的取得實屬不易。該項目帶頭人北京化工大學傳質與分離工程研究中心主任李群生告訴中國化工報記者，該項目已獲得國內發(fā)明專利授權58件、國際專利授權3件。

鑒定專家組成員、中國海洋石油集團公司高級工程師李斌認為，項目成果有更廣闊的推廣應用空間。與會的多家行業(yè)領軍企業(yè)代表也表示出進一步合作意向。據(jù)李群生介紹，項目成果已在全國數(shù)十家企業(yè)應用，取得了顯著的社會效益、經濟效益和生態(tài)環(huán)境效益。

電子化學品廣泛應用于集成電路、人工智能、電子信息、航空航天等領域。目前我國約90%高端電子化學品需求依賴進口，相關生產、提純技術難度極大，是亟待解決的產業(yè)難題。針對國家戰(zhàn)略需求，由李群生領銜的科研團隊面壁十年終破壁，取得了重大突破。（李東周）